Etude du phénomène de rupture des structures des systèmes micro-électro-mécaniques par la méthode des éléments libres de Galerkin et la méthode des discontinuités des déplacements

Abstract

"Les systèmes micro-électro-mécanique" ou SMEN (MEMS en anglais) est l'appellation donnée à ou la généralisation de cette pratique qui consiste en la fabrication et la combinaison des composants mécaniques et électroniques miniaturisés et qui sont fabriqués en utilisant des procédés similaires à ceux utilisés pour la fabrication des composants électroniques. Les techniques de fabrication des SMEM sont le produit de deux décennies de recherche et de développement, en revanche très peu d'informations sont connues à propos du comportement mécanique des matériaux des SMEM comparées à celles de cette technologie assez mature de la fabrication héritée de la micro-électronique. Ainsi, les propriétés mécaniques telles que les constantes élastiques, la résistance limite, la résistance à la rupture et les propriétés de la fatigue sont des quantités fondamentales nécessaires pour la conception de système micro-électroniques fiables. Ces propriétés acquises à partir de structures test à l'échelle des SMEM sont généralement manquantes. En réponse à cette situation, en a décidé d'étudier numériquement le phénomène de rupture de ces systèmes et de les comparer avec des résultats déjà acquis soit expérimentalement, soit numériquement.