Elaboration et étude des couches minces dures en Zircone ZrO2 déposées par pulvérisation magnétron

Abstract

Ce travail a eu pour objectif l’élaboration et la caractérisation de couches minces d’oxyde de zirconium sur de l’acier inoxydable 316L pour des applications mécaniques et biomédicales. Les couches de ZrO2 ont été déposées par pulvérisation magnétron d’une cible de zirconium en faisant varier le taux d’oxygène dans l’enceinte de 10 % à 40 %. Diverses caractérisations ont été utilisées pour nous permettre de mieux comprendre l’effet de l’oxygène sur les propriétés visées ; une meilleure dureté et un bon comportement électrochimique. Les différentes caractérisations utilisées sont : la microscopie électronique à balayage pour caractériser la morphologie des couches ZrO2 ; La diffraction des Rayon X et la spectroscopie Raman ont été utilisées pour identifier et caractériser les phases obtenues ; la nano-indentation a été utilisée pour évaluer la dureté et le module d’Young des échantillons. Une étude électrochimique a été menée pour nous permettre de connaitre le comportement anticorrosion de nos échantillons dans un bain physiologique (solution HANKS).