Etude de l'influence des paramètres géométriques et des matériaux sur la réponse électromécanique des structures BAW

Abstract

Ce travail présente une étude de l’influence des paramètres géométriques et des matériaux sur la réponse électromécanique des structures BAW sous Comsol Multiphysics®. Pour y parvenir, deux études ont étés faites: l’étude de la couches piézoélectrique et l’étude des électrodes. L’analyse des résultats obtenues nous a permis d’établir une correspondance entre le choix du matériau et de la géométrie afin d’obtenir une résonance en mode épaisseur qui induit à une admittance maximale du résonateur pour une fréquence d’excitation précise.