Elaboration des couches minces de TiN et de carbone par la technique d'ablation laser en vue de leur application en biomédical

Abstract

Des couches minces de titane sous atmosphère d'azote et des couches de carbone sont déposées séparément sur des substrats en titane par la technique d'ablation laser. Le laser utilisé est de type Nd-Yag. Les échantillons revêtus de Tin ont été caractérisés par XPS, MET, MEB et diffraction X, par contre, les échantillons de carbone ont été caractérisés par RBS, MEB et diffraction X. La spectrométrie de photoélectrons et la microscopie électronique ont montré que le titane s'est combiné avec l'oxygène pour former l'oxyde TiO2 de type rutile. L'azote quant à, s'est absorbé à la surface de substrat sous forme moléculaire. La spectroscopie de Rutherford (RBS) a montré que la couche de carbone s'est bien déposée sur le substrat. En outre, elle a permis de mettre en évidence le processus de diffusion du carbone dans le titane sans toutefois former de composés de surface.