Etude des propriétés structurales et optiques des couches minces du nano-composite SiO2-SiC en vue de l’application comme couche antireflet des cellules solaires

Abstract

Dans ce travail, nous avons entrepris le dépôt et l’étude des propriétés structurales et optiques des couches minces antireflets SiO2-SiC, destinées à l’emploi photovoltaïque. La croissance de SiO2-SiC a été réalisée à l’aide de la technique de dépôt par voie physique : pulvérisation cathodique RF magnétron. Plusieurs dépôts de la couche SiO2-SiC d’épaisseur variant entre 73.9 et 124 nm ont été réalisées sur divers substrats et états de surface tels que le verre et le silicium monocristallin (100) : plat et texturisé. Le dépôt du SiO2-SiC a été suivi par plusieurs techniques de caractérisation ; microscopie électronique à balayage MEB, analyse EDS, spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier FTIR, diffraction des rayons X et mesure de réflectance et de transmittance par spectroscopie. Le temps de dépôt et le recuit ont été mis en jeu afin d’étudier leur influence sur le comportement à la réflexion des couches de SiO2-SiC élaborées. Une amélioration significative des propriétés optiques a été enregistrée où nous avons pu atteindre un taux de réflectance équivalent à 6.29 %.