Etude des couches minces de nitrure de titane dopé à l’oxygène déposées par pulvérisation cathodique

Abstract

L’objectif de notre travail portera sur l’élaboration et la caractérisation des couches minces de Ti (N ,O) déposées par pulvérisation cathodique HIPIMS d’une cible de TiN sur un biomatériau en acier inoxydable 316L pour des applications biomédicale. Les résultats attendus, d’ordre expérimental, permettront d’étudier les propriétés physico-chimiques des couches déposées. L’identification et la caractérisation des dépôts nous permettront de mieux comprendre l’effet de la polarisation du substrat sur les propriétés de ces couches minces ce qui constitue la principale motivation de ce travail. Un intérêt particulier sera donné au comportement des couches déposées dans un milieu agressif.