Propriétés tribo-mécaniques et optiques des couches minces Al-Si

Abstract

Cette étude porte sur l’élaboration et la caractérisation des couches minces de nitrures d’aluminium-silicium. L’objectif étant de mettre en évidence les propriétés tribo-mécaniques et optiques de ces couches. Ce travail comprend une première partie de synthèse bibliographique qui traite dans son premier chapitre des généralités sur les couches minces, particulièrement des revêtements d’Al-Si-N, et des techniques d’élaboration de ces dernières. Son second chapitre étudie les procédés de dépôt physique en phase vapeur. Une Etude expérimentale a été effectuée dans la deuxième partie de ce mémoire. Dans un premier temps le protocole expérimental adopté et les méthodes de caractérisation utilisées seront présentés. Ensuite, les résultats obtenus seront mis en évidence et discuter. Les couches d’Al-Si-N ont été déposées par pulvérisation cathodique diode DC en faisant varier le taux d’azote dans l’enceinte de 0% à 50%. La caractérisation de ces couches montre que ce sont des couches amorphes, transparentes, avec une dureté comprise entre 20 et 40GPa (selon le taux d’azote), et un coefficient de frottement qui diminue avec l’augmentation du taux d’azote.