Synthèse et caractérisation des couches minces de nitrure de zirconium déposées par pulvérisation : étude de l’effet de la polarisation du substrat

Abstract

Dans ce travail, des couches minces de nitrure de zirconium ont été déposées par pulvérisation magnétron à haute puissance et impulsion (HiPIMS) sur de l’acier inoxydable 316L puis caractérisées pour étudier l’effet de la polarisation sur les propriétés physiques, chimiques et biologiques avec l’objectif d’une utilisation biomédicale. Diverses caractérisations ont été utilisées : microscopie électronique à balayage, la microscopie à force atomique, diffraction à Rayon X, Spectroscopie Raman, la nanoindentation, étude électrochimique dans une solution Hanks