Abstract:
Ce travail présente une étude de l’influence des paramètres géométriques et des matériaux sur la réponse électromécanique des structures BAW sous Comsol Multiphysics®.
Pour y parvenir, deux études ont étés faites: l’étude de la couches piézoélectrique et l’étude des électrodes.
L’analyse des résultats obtenues nous a permis d’établir une correspondance entre le choix du matériau et de la géométrie afin d’obtenir une résonance en mode épaisseur qui induit à une admittance maximale du résonateur pour une fréquence d’excitation précise.
