Mesure de l'épaisseur des couches minces

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dc.contributor.author Dirami, A.
dc.contributor.other Koulechov, Directeur de thèse
dc.date.accessioned 2021-03-01T10:20:34Z
dc.date.available 2021-03-01T10:20:34Z
dc.date.issued 1974
dc.identifier.other PA00874
dc.identifier.uri http://repository.enp.edu.dz/xmlui/handle/123456789/8575
dc.description Mémoire de Projet de Fin d’Études : Génie Électrique : Université d'Alger. École Nationale Polytechnique : 1974. - Génie Electrique voir aussi : Electrotechnique ou Automatique fr_FR
dc.description.abstract La présente étude porte sur la mesure de l'épaisseur qui n'est pas accessible par les méthodes classiques. Dans une première partie, nous verrons rapidement les diverses techniques de fabrication des circuits intégrés, ce sera d'abord une description des circuits essentiels, puis nous insisterons sur les méthodes de réalisation des couches minces, ce qui nous fixera le domaine de travail et imposera les contraintes de la mesure. Nous exposerons ensuite les différentes méthodes qui peuvent permettre la mesure de l'épaisseur du film; ce chapitre sera suivi du choix de la méthode de mesure, ce choix se fera naturellement en fonction des différentes contraintes qui entrent en jeu. Viendra ensuite, l'analyse de la méthode choisie. Et enfin, nous passerons à la réalisation de l'appareil de mesure où nous trouverons les calculs des circuits électriques et une ébauche du circuits de commande du processus de dépôt. fr_FR
dc.language.iso fr fr_FR
dc.subject Couches minces -- Épaisseur -- Mesure fr_FR
dc.subject Circuits électriques -- Calcul fr_FR
dc.title Mesure de l'épaisseur des couches minces fr_FR
dc.type Thesis fr_FR


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